光刻机原理

2026-08-16

1、光刻机制作芯片的过程,基本和“冲印照片”一样。假设拍的是风景,胶片上会有曝光痕迹,先要在暗室里显影,让风景在胶片上显示出来。然后在红光下通过放大机,把胶片上的风景投射到相纸上,让相纸曝光。再通过相纸的显影、定影、烘干得到最终的照片。除了风景之外,“照片冲印”需要有胶片,有光源、放大机、相纸。 2、对光刻机来说,所谓“风景”就是设计好的集成电路图(IC),“胶片”就是一块石英板(光罩),用来记录集成电路图,“相纸”就是硅晶圆,“放大机”就相当于光刻机。 3、所不同的是,洗照片是放大...

阅读更多