TAG：硅的氢化物

硅的气态氢化物是甲硅烷。 　　甲硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 　　甲硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物...

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1、硅的氢化物是指含有硅元素和氢元素两种元素的化合物。硅的氢化物有硅烷、 乙硅烷等； 　　2、硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体； 　　3、乙硅烷是一种无机化合物...

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