SiO2和少量HF反应的方程式是“SiO2+4HF=SiF4(气体)+2H2O”，而当HF过量时，方程式则为“SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O”。HF即氟化氢（hydrogen fluoride），它是由氟元素与氢元素组成的二元化合物，也是无色、有刺激性气味的气体。氟化氢是一种一元弱酸，它及其水溶液均有毒性，容易使骨骼、牙齿畸形。
