asml光刻机是干什么用的

2026-09-19

说到光刻机,很多人肯定都很陌生,也可能是第一次听见这个东西,那么光刻机是干什么用的呢?一起来了解一下吧。 光刻机是芯片制造的核心设备之一。 在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。 光刻机的结构组成: 1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。 2、激光器:就是光源,光刻机核心设备之一。 3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。...

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