电子气体是工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺，高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子气体是特种......
